| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,綜合 | 掃描行程 | 200 mm x 200 mm |
| Z軸行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| Z軸分辨率 | 3nm | 傳感器 | 白光共焦傳感器 |
| 設備尺寸 | 760 x 530 x 475mm |
昊量+星朗小型桌面式表面輪廓量測設備
cyberSCAN VANTAGE 2是一款三維表面輪廓測量系統。通過結合高分辨率的共焦傳感技術及高精度XY位移平臺，該系統可以用x-，y-，z-的最高分辨率掃描200 ×200mm的區域。所有系統組件集成一體，不需要外部控制器，系統僅通過一根USB線和一根網線連接到控制PC。通過ScanSuite軟件系統實現復雜表面分析和自動化測量。
其一體化設計、潔凈室兼容性與全自動化能力，使其成為半導體、光伏、光學涂層、MEMS 等領域從研發到量產的核心精密檢測設備。
昊量+星朗小型桌面式表面輪廓量測設備產品應用：
cyberSCAN VANTAGE 2結構簡單，用途豐富。主要應用于印刷電路的分析和質量 控制，如陶瓷或其他材料基底的線路板膜 厚測量；太陽能電池導線體積，厚度測量； 環氧樹脂膜厚等測量。同時還可以適用于 高輪廓物體(如焊球、MEMS傳感器 )的幾 何參數特征，位置測量，以及平面度，粗 糙度，共面性分析等其他應用。
印刷電路、系統或器件
封裝芯片激光打標深度
封裝芯片激光打標深度
透明材料或涂層
八寸晶圓厚度
翹曲度Warp/Bow
該產品軟件特點：
cyberTECHNOLOGIES的軟件系統 SCAN SUITE將系統控制、數據收集和數據 分析集成于一體，有龐大的數據分析功能可 進行數據補償，形狀去除（平面，球形，不 規則形狀，噪點等），濾波分析，剪裁，提 取輪廓，特征識別等。用戶可生成分析模版 保持分析的連續性和一致性。 進階版自動化分析軟件ASCAN可提供：
測量過程全自動化
模塊化程序構建
內置偏移量和對位校正
內置 SPC圖表與報告功能
用戶自定義的數據輸出格式
支持條形碼或用戶字段輸入
重復性測量定義
該產品硬件特點：
直線電機高精度高速率掃描，分辨率達 50nm
白光共焦傳感器分辨率最小可達3 nm， 測量范圍最大可達25 mm， 測量速率：4 kHz
高分辨率離軸攝像機及分立式組合光源
該產品系統組成：
高精度XY定位平臺，直線電機驅動
高精度共焦傳感器，可升級至雙量測頭
高清晰定位相機與四通道獨立控制的照 明模組
預安裝Windows操作系統及ScanSuite 軟件許可證
該產品技術規格：
| 尺寸及重量 | 760 x 530 x 475mm，80kg |
| 傳感器 | 白點光源白光共焦傳感器 |
| cmos像素 | cyberMACRO I: 5MP; cyberMACRO II: 14MP |
| 照明光源 | 同軸+環形+側邊 |
| 電動操作桿 | 搖桿控制器（選配） |
| XY軸定位分辨率 | 50nm |
| XY軸掃描行程（電動） | 200 mm x 200 mm |
| 電動z軸 | 行程100mm，分辨率50nm |
| 工控機 | 最新款INTEL處理器; Windows10Pro操作系統; 寬屏顯示器 |
| 電源要求 | 100-240V AC, 50-60 Hz, 2 amps (240 V), 5 amps (100 V) |
| 工作環境 | 溫度20° - 30°C; 濕度20 - 80%; 海拔 < 2000 米 |
| 載物臺表面尺寸 | 305 x 305 mm |
| 樣品最大重量 | 6-8 kg |
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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