昊量光電/星朗浩宇高次諧波HHG光源

簡要描述：星朗可用于XUV/EUV/VUV光譜儀的高次諧波HHG光源的高次諧波HHG光源阿秒脈沖波長、交鑰匙式HHG光源、beamline解決方案，可用在XUV/EUV/VUV光譜儀。該產品可提供相干的極紫外和軟X射線輻射，支持阿秒科學、時間分辨光譜、EUV光刻計量學等研究應用。昊量光電/星朗浩宇高次諧波HHG光源

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廠商性質：代理商
更新時間：2026-06-18
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詳細介紹

品牌	昊量光電	應用領域	綜合
阿秒脈沖波長	6-120nm / 10-200eV	孤立阿秒脈沖波長	6-16nm / 80-200eV
通量穩定性	<3% rms in 12 hours	指向穩定性	<3urad rms in 12 hours
工作氣壓	<10^-9mbar	定位方式	手動或電動閉環
典型波長	60nm / 21eV, 13.5nm / 90eV	應用方向	XUV/EUV/VUV光譜儀、阿秒科學、EUV光刻計量學

昊量光電/星朗浩宇高次諧波HHG光源

星朗可用于XUV/EUV/VUV光譜儀的高次諧波HHG光源的詳細介紹如下。

昊量光電/星朗浩宇高次諧波HHG光源

昊量光電的HHG光束線是交鑰匙式工具，使科學家可以專注于他們的研究。我們的產品組合包括高次諧波HHG光源、在線診斷光譜儀、單色儀及聚焦系統。我們還可根據客戶技術規格提供定制化實驗靶臺系統，支持高復雜度的定制需求。beamLINE 系列光束線采用模塊化靶臺系統，支持多種靶材配置：氣體射流靶、氣體毛細管靶、氣體池靶以及固體靶。配備可選式低維護金屬濾光片實現光譜濾波，確保實驗不受雜光干擾，專注于核心測量。

高次諧波產生（HHG）光束線beamLINE系統是一種強的臺式工具，可提供相干的類激光極紫外（XUV/EUV/VUV）和軟X射線輻射。已應用于等離子體物理和表面科學等領域的基礎研究。激光驅動等離子體光源proLINE提供即插即用的極紫外（XUV/EUV/VUV）輻射，可選寬帶輸出或單色光輸出。

高次諧波HHG光源的基本原理是由飛秒激光與惰性氣體（如氬氣、氖氣）相互作用產生強高次諧波，驅動光源為近紅外飛秒激光（通常800nm或1030nm），可實現相干、類激光的（XUV/EUV/VUV）極紫外光/軟X射線，可以作為XUV/EUV/VUV光譜儀的光源。

對于阿秒科學實驗，該高次諧波HHG光源單個阿秒脈沖的波長范圍是6-16nm，阿秒脈沖序列的波長范圍是6-120nm。高次諧波HHG光源可以實現高穩定的工作：科研工作者無需過多關注工具，可以專注于研究。特殊優化的光束穩定性和耐用的氣體靶材使得系統可以連續工作12個小時且光通量波動低于3%。搞損傷閾值的靶材以及精心設計的氣體輸送系統可以保證數月的恒定氣流。專為束線使用而設計的金屬濾光片可確保下游部分的維護成本低

交鑰匙式高次諧波HHG光源產品特點

連續數周穩定運行，無需光路重新校準
低維護工作量，讓用戶專注實驗本身
模塊化系統設計，維護便捷
高激光損傷閾值（LIDT）長壽命穩定氣體靶

高次諧波HHG光源相關成果

beamLINE 光束線中，雙色泵浦碳等離子體與鋅等離子體產生的諧波發射高次諧波（HHG）由 37 飛秒驅動脈沖，在 250 飛秒長近紅外（NIR）加熱脈沖預產生的等離子體中激發產生。碳激光等離子體（LPP）產生的單諧波（第 25 次諧波，30 電子伏特）通量約為 8×1013 光子 / 秒。

G. Boltaev et al, Application of 150 kHz Laser for High-Order Harmonic Generation in Different Plasmas Photonics 7, 66 (2020)

高次諧波HHG光源的規格參數

阿秒脈沖波長	6-120nm / 10-200eV *
孤立阿秒脈沖波長	6-16nm / 80-200eV *
通量穩定性	<3% rms in 12 hours *
指向穩定性	<3urad rms in 12 hours *
工作氣壓	<10^-9mbar (<10^-11mbar available)
定位	手動或電動閉環
定制能力	可定制化