| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 | 設備尺寸 | 2010×1200×1425 mm |
| 重量 | 650 kg | XY行程 | 350×350 mm |
| Z軸行程 | 100mm | XY分辨率 | 50nm |
| 傳感器分辨率 | 3nm | 測量范圍 | 25mm |
| 傳感器 | 白光共焦/WLI/紅外 |
昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測量儀
cyberSCAN CT350T是一種非接觸式雙面光學形貌測量設備，具有350mm XY定位平臺位于大理石平臺上下兩側的傳感器分別安裝在100 mm高精度自動Z軸上，同步采集高度測量數據并在垂直方向上保持物理上的同軸安裝，以確保差分厚度測量的高精確性SCANSUITE分析軟件可同時生成上、下表面的二維剖面或三維形貌數據，并計算出相應測量位置的形貌總厚度。運動系統利用高精度的直線電機，通過4kHz采樣率觸發傳感器，使掃描速率大化。搭配的白光共焦傳感器的縱向分辨率最小可達3nm，量程最高可達25mm。通過特制的安裝板，該系統可作為標準的單面光學表面輪廓儀使用，同時還可保留T型雙面測量設備厚度測量的多功能性。該系列設備還可提供多種規格版本，如CT250T及CT600T以滿足多種應用場景。
昊量光電/星朗浩宇立式輪廓形貌測量儀產品應用：
CT350T主要用于測量基板，晶圓，工業零件等產品的絕對厚度及TTV。測量精度不受樣品材料或表面特性的影響，同時也對樣品厚度也沒有任何要求，從小至幾微米厚度的樣品到幾厘米厚的樣品都可以輕松測量。應用包括：
任何規格材料的半導體晶圓玻璃晶圓等
工業零部件
燃料電池元件
醫療器件
特種薄膜材料等
該產品軟件特點：
cyberTECHNOLOGIES有的軟件系統SCAN SUITE將系統控制、數據收集和數據分析集成于一體，有龐大的數據分析功能可進行數據補償，形狀去除(平面，球形，不規則形狀，噪點等),濾波分析，剪裁，提取輪廓，特征識別等。用戶可生成分析模版保持分析的連續性和一致性。
進階版自動化分析軟件ASCAN可提供：
測量過程全自動化
模塊化程序構建
內置偏移量和對位校正
內置SPC圖表與報告功能
用戶自定義的數據輸出格式
支持條形碼或用戶字段輸入
重復性測量定義
該產品硬件特點：
快速、準確的雙掃描系統
4KHz(14 kHz可選)采樣頻率
多傳感器裝配
2D截面和3D形貌及3D總厚度測量
雙通道氣浮隔振系統，雙重防撞保護措施
高分辨率白光共焦傳感器
白光共焦傳感器分辨率最小可達3nm,測量范圍最大可達25mm
高分辨率離軸攝像機及分立式組合光源
支持SMEMA接口標準以及SECS/GEM通訊協議
該產品系統組成：
XYZ高精密直線電機運動平臺
雙共焦傳感器(類型依項目需求而定， 參數見傳感器規格)
大理石平臺與氣浮雙重隔振系統
ESD安全防護外罩
操縱桿控制
工業級PC工控機
預安裝Windows系統及SCAN SUITE軟件
寬屏顯示器，鍵盤，鼠標，參考手冊
該產品技術規格：
| 尺寸及重量 | 2010×1200×1425 mm,650kg |
| 傳感器 | 白光共焦傳感器；WLI及CFM顯微鏡；紅外傳感器 |
| cmos像素 | cyberMACROI:5MP; cyberMACRO Il:14MP |
| 照明光源 | 同軸+環形+側邊 |
| 電動操作桿 | 搖桿控制器(選配) |
| XY軸定位分辨率 | 50nm |
| XY軸掃描行程 | 350 mm×350 mm |
| 電動z軸 | 行程100mm,分辨率50nm |
| 工控機 | 最新款INTEL處理器；Windows10Pro操作系統；寬屏顯示器 |
| 電源要求 | 100-240VAC,50-60 Hz |
| 工作環境 | 溫度20°-30°C;濕度20-80% |
| 載物臺表面尺寸 | 500×500 mm |
| 樣品最大重量 | 10 kg |
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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