昊量/星朗表面形貌輪廓測量標準片/標準樣

簡要描述：昊量/星朗表面形貌輪廓測量標準片/標準樣是一款用于表面形貌測量儀器校準的標準樣。該產品包含多種幾何結構和測量區域，可支持ISO 25178相關計量特性的評估。

產品型號：
廠商性質：代理商
更新時間：2026-06-18
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詳細介紹

品牌	昊量光電	價格區間	面議
產品種類	接觸式輪廓儀/粗糙度儀	產地類別	國產
應用領域	綜合	標準依據	ISO 25178-600/70
測量區域	17個潛在測量區域	區域尺寸	100-1500μm
校準用途	形貌/平面度/橫軸校準	適配儀器	表面形貌測量儀器
測量對象	粗糙表面/十字光柵等	應用倍率	5倍至100倍

昊量/星朗表面形貌輪廓測量標準片/標準樣

昊量/星朗表面形貌輪廓測量標準片/標準樣昊量光電提供表面形貌測量的通用校準件可用于對面形貌測量儀器進行全面校準。該校準件上包含的材料測量數據可根據 ISO 25178-600 標準確定其計量特性。

通常，需要六種不同的幾何形狀來確定這些計量特性。為了實現常用的5倍至100倍顯微放大倍率，布局中包含了面積分別為100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm、800 µm × 800 µm和1500 µm × 1500 µm的不同材料測量區域，從而在樣品上總共形成17個潛在的測量區域，涵蓋 ISO 25178-600 中定義的所有計量特性。

包括以下材料測量：

1) ???星形樣品（符合 ISO 25178-70 標準的 ASG 型），?積為 400 µm x 400 µm

利用這種材料測量方法，可以計算出與測量儀器的形貌分辨率相對應的測量值。由此，可以確定以原始振幅 50% 的振幅透射的空間頻率（空間周期極限）[2]。

2) 啁啾材料測量（CIN 型，不符合現? ISO 標準）：x ?向?積為 400 µm x 400 µm，y ?向? 積為400 µm x 400 µm

通過啁啾材料測量，可以確定形貌保真度的某些方面，這些方面與 ISO 25178-600 [3] 中的形貌分辨率相關。樣品允許分別評估 x 和 y 方向，尺寸為 400 µm × 400 µm，涵蓋 0.807 µm 至 48.389 µm 之間的 16 個不同波長。

3) 圓形啁啾材料測量（CIN-r 型，不符合現? ISO 標準），?積為 400 µm × 400 µm。

利用圓形啁啾材料測量，可以確定不同方向上的形貌保真度，這與 ISO 25178-600 [3] 中的形貌分辨率相關。樣品允許在不同方向上進行單獨評估，其尺寸為 400 µm × 400 µm，涵蓋 0.807 µm 至 36.830 µm 之間的 15 個不同波長。

4) 平?度材料測量儀（ISO 25178-70 標準中的 AFL 型），測量?積為 1500 µm x 1500 µm。

利用平面度材料測量儀，可以確定儀器噪聲和平整度偏差。這是通過測量 ISO 25178-700 標準中規定的面紋理參數來實現的。

5) 徑向正弦波（符合 ISO 25178-70 標準的 ARS 型），其?積分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。

利用這些材料尺寸，可以對測量儀器的三個軸進行通用校準。因此，可以按照 ISO 25178-70 標準確定被測量值和。

6) ?字光柵（符合 ISO 25178-70 標準的 ACG 型），尺?分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。

十字光柵材料測量用于校準橫軸。計量特性（符合 ISO 25178-600 標準）為局部 x-y 映射偏差。此外，還可以確定橫軸的線性偏差和、放大系數和以及垂直度PER。

7) 不規則粗糙表?（ISO 25178-70 中的 AIR 型），其?積分別為 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。

這種不規則粗糙表面通常用于確定基于面積振幅的表面紋理參數。該表面采用基于模型的設計方法確定，并以實際工程表面為原型 [4]。此外，通過對高度軸進行校準，進一步擴展了其功能 [5]。高度軸的校準可通過計算線性偏差和放大系數來實現。這些參數的確定方法參見 ISO 25178-60x 系列標準。然而，校準并非使用數量有限的特定值，而是利用表面的線性阿博特曲線，通過比較測量高度值與目標高度值，并結合所有測量點，來確定響應曲線。因此，校準過程中使用了大量的測量點，從而實現了高精度且實用的校準程序。